第二百三十八章 各有千秋的DUV光刻机 (8 / 11)
《关闭小说畅读模式体验更好》
目前借助康尼的那一套光刻机生产线,配合着新镜片,稍微改进一下差不多能造出一款功能性强大的duv光刻机了。
对,还是duv光刻机领域,没有迈入euv,甚至因为依然还没有使用浸润光刻的方式,使用的也是霓虹的光源,单论极限性能的话甚至还略逊色于阿斯麦现在拿出来的duv浸润光刻机!
是的,是逊色……
毕竟现在只是有镜头优势,光源和浸润光刻方式上的差距会导致上限低一些。
甚至目前解决的也就是光刻机问题,晶圆厂这边的相关工艺都还未能解锁。
不过好处是,虽然王易用的还是干式光刻,光源也略逊,但硬生生的靠着镜头的性能优势,可以确保14nm程度下的良品率要超越阿斯麦的光刻机!
阿斯麦目前的光刻机靠着多次曝光,极限是可以到7nm。
不过这对晶圆厂的制作工艺要求也很高,良品率也是问题。
光刻机是为了量产芯片,是为了商用和赚钱的,良品率低的话甚至可能会出现亏本的问题。
而王易目前靠着康尼的底子改出来的光刻机,在14nm层次的工艺上,良品率能够超出阿斯麦光刻机最少两成。
内容未完,下一页继续阅读